產品概述

汽化器
?單塊鋁（未焊接，最小化泄漏）
?加熱器：最大。200℃
?用于熱阻的門加熱器：最大。200℃
?蒸發溫度 設置：最多 10 步（溫度和時間）
熱解器
?管材：石英（或鉻鎳鐵合金作為替代品）
?熱解器加熱器：最大。800℃
?3 x 分區（獨??立）加熱器
?溫度傳感器：2線K型傳感器x 3ea（每個加熱器每個傳感器）
沉積室
?單塊鋁（未焊接，最小化泄漏）
?均勻氣流設計（專利號 10-1701381）
?腔室尺寸：ID 200 mm × L. 420 mm
?樣品加載板
?旋轉進給
冷阱
?捕集方法：直接捕集器、玻璃冷凝器
?最低溫度：– 80℃
?環境溫度：5～30℃
控制器
?DSP板載信號控制器
?自動/手動操作

技術參數

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應用領域

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