產品概述

汽化器
?單塊鋁（未焊接，最小化泄漏）
?加熱器：最大。200℃
?用于熱阻的門加熱器：最大。200℃
?蒸發溫度 設置：最多 10 步（溫度和時間）
熱解器
?管材：石英（或鉻鎳鐵合金作為替代品）
?熱解器加熱器：最大。800℃
?3 x 分區（獨??立）加熱器
?溫度傳感器：2線K型傳感器x 3ea（每個加熱器每個傳感器）
沉積室
?腔室尺寸：ID 950 mm × L. 1,200 mm
?樣品加載板
?旋轉進給
樣品夾具
?最大裝載樣品數量：50ea
?可用負載 Max. 樣品尺寸：12英寸
?夾具類型：多層鋁架式
?程序轉速
冷阱
?溫度范圍：–80℃～RT。(±2～3℃)
控制器
?DSP板載信號控制器
?自動/手動操作
?交互式集成軟件
?10.2 英寸觸摸屏 PC 和 USB 數據傳輸
?保存和加載工藝配方
?實時過程圖和錯誤監控

技術參數

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