PE/RIE(反應離子蝕刻)模式真空
等離子蝕刻模式真空室
LAVIDA1000聚對二甲苯涂層系
LAVIDA110聚對二甲苯涂層系統
WideFlux400大氣等離子處理
WIDEFLUX150大氣等離子處理
VITA12立式反應離子蝕刻真空等離
VITA8立式反應離子蝕刻真空等離子
CIONE8雙模真空等離子處理系統
CIONE6雙模真空等離子處理系統
CIONE4雙模真空等離子處理系統
COWIN定制式真空等離子處理系統
COGRADE臺式真空等離子處理系統
FemtoScience等離子清洗槍
CUTE-等離子表面處理系統